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光譜共聚焦3D超景深顯微鏡基于白光色散技術(shù)的光譜共聚焦鏡頭,具有廣泛的測量適應(yīng)性,即使在光滑的玻璃表面,研磨后的鏡面材料,均能實現(xiàn)有效的測量,其Z向分辨率可達到10nm以下,配合高精度的壓電位移臺,能對樣品實現(xiàn)大面積精準輪廓測量。得到的模型更可與光學(xué)景深圖像融合,最終得到計量級的彩色3D模型
龍門式金相顯微鏡主要用于LCB、PDP、PCB等相關(guān)的光電產(chǎn)業(yè),為其制造提供所需的檢測設(shè)備。具有觀察OLB壓接粒子分布、液晶板表面貼附的異物、液晶板劃傷情況、面板上的Bonding 效果測量導(dǎo)電粒子大小、數(shù)量等功能。
便攜式超景深3D缺陷檢測系統(tǒng)便攜式表面缺陷檢測系統(tǒng)采用動態(tài)偏振結(jié)構(gòu)光原理,非接觸式高精度、高重復(fù)性測量表面特征(倒角和園角)和缺陷(劃痕、凹坑、磨損、凸起、麻點、激光打標等),設(shè)置深度臨界值進行 3D 特征定量分析。
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